机械工程材料

作者：王建业, 王一平, 杨颖, 盛云

关键词：柔性薄膜, BiFeO₃, HoMnO₃, 介电性能, 压电性, 铁电性

采用脉冲激光沉积技术在云母柔性衬底上沉积0.1HoMnO3-0.9BiFeO3薄膜，研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、弯曲服役特性、铁电和介电性能以及输运特性。结果表明：BiFeO3沿（012）和（104）晶面取向生长，结晶良好；薄膜表面光滑，均方根表面粗糙度为6.7 nm，连续弯曲平整10 000次后表面无细微裂纹；薄膜具有良好的微观压电性，且呈现出一定的向上自发极化特性；薄膜的饱和极化强度和剩余极化强度分别为68，61 μC·cm-2，弯曲至曲率半径为2.2 mm时的极化强度变化不大，连续弯曲平整10 000次后则有所降低，平整状态和弯曲状态下的介电性能相差较小；薄膜的激活能为0.42 eV，低于纯BiFeO3薄膜的，其载流子输运能力有所增强。

来源：2019年第2期

《机械工程材料》期刊编辑部

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