机械工程材料

作者：孙春莲, 王彬彬

关键词：溶胶-凝胶法, CaCu₃Ti₄O₁₂薄膜, 介电性能, 非线性, 压敏性能

采用溶胶-凝胶法在Si （100）基底上制备Ca0.925Sm0.05Cu3-yMgyTi4O12（y=0，0.05，0.10，0.15，0.20，物质的量分数/%，下同）薄膜，研究了镁掺杂量对薄膜物相组成、微观形貌以及介电和压敏性能的影响。结果表明：不同镁掺杂量薄膜均主要由多晶CaCu3Ti4O12相以及少量SiC和CaTiO3相组成；随着镁掺杂量的增加，薄膜的晶粒尺寸和相对介电常数增大；当镁掺杂量为0.10%时，薄膜的致密性能最好，在低频下的介电损耗最小；不同镁掺杂量薄膜的电流密度和电场强度均为非线性关系，当镁掺杂量为0.10%时的非线性系数最大，漏电流较小。

来源：2019年第4期

《机械工程材料》期刊编辑部

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