机械工程材料

作者：郭金保, 马付良, 曾志翔

关键词：氮气流量, CrN_<i>x</i>涂层, 物相组成, 耐磨性能, 耐腐蚀性能

通过控制氮气流量（20～60 cm3&#183;min-1），采用反应磁控溅射技术分别在不锈钢和硅片基底上制备CrNx涂层，研究了氮气流量对涂层物相组成、显微组织、纳米压痕力学性能、摩擦学性能以及在质量分数3.5% NaCl溶液中电化学腐蚀性能的影响。结果表明：不同氮气流量下的CrNx涂层均表现出柱状晶结构；随着氮气流量的增加，CrNx涂层的物相经历了Cr→Cr2N→CrN的变化，纳米压痕硬度和弹性模量均先增后降，平均摩擦因数和磨损率先降后增再降，耐腐蚀性能则先变好后变差；当氮气流量为30 cm3&#183;min-1时，涂层结构致密，力学性能、耐磨性能和耐腐蚀性能最优。

来源：2020年第4期

《机械工程材料》期刊编辑部

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