机械工程材料

作者：贺江涛, 蔡海潮, 薛玉君, 杨芳, 马喜强

关键词：磁控溅射, WS₂薄膜, 镧掺杂, 晶粒尺寸, 纳米压痕力学性能

采用磁控溅射法在不同沉积压力（0.8，1.2 Pa）下分别制备WS2薄膜、Ti/WS2复合薄膜和La-Ti/WS2复合薄膜，研究了薄膜的组织结构和纳米压痕力学性能。结果表明：WS2薄膜呈疏松多孔结构，晶粒粗大，孔洞较多，组织致密性差；与WS2薄膜相比，Ti/WS2复合薄膜的晶粒尺寸减小，组织变得致密，掺杂镧后薄膜的晶粒尺寸进一步减小，组织更致密；镧的掺杂还降低了薄膜中硫与钨的原子比，增加了硬质钨相的相对含量，提高了薄膜的硬度和变形抗力。

来源：2020年第12期

《机械工程材料》期刊编辑部

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