机械工程材料

作者：郭力铭, 段利利, 于晓丰, 吴化

关键词：物理气相沉积, 表面粗糙度, 膜基结合力, 摩擦因数, 择优取向

采用物理气相沉积（PVD）法制备TiN、Ti-Al-N和Ti-Si-N 3种薄膜，研究了铝和硅元素添加对薄膜组织和性能的影响。结果表明：Ti-Al-N薄膜组织中Ti3AlN相存在择优取向，形成了粗大的柱状晶；Ti-Si-N薄膜生成了Si3N4相，组织相对细小；Ti-Al-N薄膜的膜基结合力最小，Ti-Si-N薄膜的膜基结合力最大；Ti-Al-N薄膜的表面粗糙度最小，硬度和弹性模量最大；Ti-Si-N薄膜的摩擦因数略高于Ti-Al-N薄膜的，但二者相差很小，这应与Ti-Si-N薄膜组织较细小且形成的Si3N4相具有一定的自润滑性能有关。

来源：2020年第12期

《机械工程材料》期刊编辑部

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