机械工程材料

作者：李栓平, 刘竹波, 王永胜, 于盛旺, 贺志勇, 周兵

关键词：钛掺杂, 类金刚石, 热处理, TiO₂, 光学带隙, 场发射性能

采用多靶磁控溅射技术制备了钛掺杂类金刚石（Ti-DLC）薄膜，并在不同温度（300，350，400℃）下进行了热处理，研究了热处理温度对薄膜微观结构、成分、能带结构以及场发射性能的影响。结果表明：与热处理前的相比，300℃热处理后Ti-DLC薄膜中sp2-C团簇相对含量增大，光学带隙最小，开启场强最低，为5.43 V·μm-1，场发射性能最好；当热处理温度高于300℃时，薄膜的DLC含量减少，同时生成大量TiO2，光学带隙增加，薄膜开启场强增大，场发射性能变差；薄膜的场发射电流基本不受热处理温度的影响。

来源：2021年第1期

《机械工程材料》期刊编辑部

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