机械工程材料

作者：陈向阳, 张瑾, 马胜利, 胡海霞

关键词：反应磁控溅射, Ti-B-C-N薄膜, 纳米复合结构, 硬度, 摩擦磨损性能

采用反应磁控溅射法在高速钢基体上制备氮原子分数分别为10.8%,15.6%,28.1%,36.4%的Ti-B-C-N薄膜,研究了氮含量对薄膜微观结构、硬度和摩擦磨损性能的影响。结果表明：Ti-B-C-N薄膜均由α-Fe和Ti（C,N）纳米晶组成,具有Ti（C,N）纳米晶镶嵌在非晶基体相中的纳米复合结构；随着氮含量增加,非晶相含量增加,Ti（C,N）纳米晶的含量和晶粒尺寸减小；随着氮含量增加,Ti-B-C-N薄膜的显微硬度增大,摩擦因数和磨损率均减小,表面磨痕变浅,磨损机制由剥落和微观犁削转变为微观抛光。

来源：2024年第5期

《机械工程材料》期刊编辑部

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