机械工程材料

作者：李聪, 刘健招, 周立波, 陈维, 陈汪林, 陈荐

关键词：钛合金, 物理气相沉积, 耐磨涂层, 工艺参数

为提高钛合金表面的硬度及耐磨性能，常采用物理气相沉积（PVD）技术在其表面制备涂层。介绍了类金刚石涂层、改性氮化物涂层、复合氮化物涂层、梯度涂层等常见的PVD涂层，系统阐述了磁控溅射技术、离子镀技术、离子束辅助沉积技术、真空蒸发镀技术等常用PVD技术的特点，归纳了基底偏压、溅射功率、沉积气压、沉积温度、阴极弧流等调控涂层磨损性能的工艺参数，指出了目前耐磨损PVD涂层制备存在的问题，并对其发展趋势进行了展望。

来源：2025年第4期

《机械工程材料》期刊编辑部

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