机械工程材料

作者：施晨琦, 赵琪, 巢云秀, 李思勰, 沈月, 许彦亭, 王传军, 闻明

关键词：L1₀-FePt薄膜, FePt靶材, 隔离介质, 多层膜结构

L10-FePt薄膜因具有高磁晶各向异性、高饱和磁化强度等优良的磁学性能及良好的化学稳定性，成为下一代超高密度磁记录存储介质的最佳候选者之一。介绍了磁控溅射法、分子束处延法和化学合成法等L10-FePt薄膜制备方法，阐述了薄膜的理想结构和性能，综述了特殊热退火处理、添加隔离介质、制备多层膜结构等3种薄膜结构调控方法，总结了真空热压法、热等静压法和放电等离子烧结法等FePt合金靶材制备工艺，指出了目前研究存在的问题，展望了高密度磁记录存储介质的发展方向。

来源：2025年第6期

《机械工程材料》期刊编辑部

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